...Vergleiche zwischen dotierten GaN-Kristallen, die einer Elektronenbestrahlung unterzogen wurden, und Kristallen, die einem Tempervorgang unterworfen wurden, zeigen, dass beide Prozesse zum selben Ergebnis führen, nämlich zu einer Aktivierung der Dotierung und einer entsprechenden Verringerung des elektrischen Widerstands, wenn sie unter Ausschluss einer wasserstoffhaltigen Umgebungsatmosphäre (die...