...Streitpatents auch ein Vakuum zu verstehen bzw. ein Vakuum, das den für den Direct-Bonding-Prozess erforderlichen Gehalt an Sauerstoff enthalte. 31 Das weitere Merkmal des Patentanspruchs 1 des Streitpatents, wonach „die innere Schutzgasatmosphäre durch die Kapsel von einer diese Kapsel umgebenden äußeren Schutzgasatmosphäre getrennt ist“, sei dahingehend auszulegen, dass eine räumliche Trennung bestehen...